GAMBETTI / Mks / Strumentazione e controllo di processo

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Nome d’indiscusso prestigio nella produzione di strumenti e di sottosistemi integrati
per la misurazione, il controllo ed il monitoraggio di tutti i parametri critici nel settore
di produzione dei semiconduttori e in tutti gli altri settori produttivi avanzati.
Alla storica e ben conosciuta linea di strumenti per il controllo e la misura delle pressioni
e dei gas, MKS Instruments ha negli ultimi anni affiancato una vasta gamma di prodotti
complementari per fornire ai clienti OEM o end user, nell’industria come nella ricerca,
un pacchetto di soluzioni globali, che vanno dal prodotto finito al servizio globale di
assistenza di elevata professionalità.
L’eccellente livello qualitativo dei prodotti e delle tecnologie MKS Instruments forniscono
le infrastrutture ai processi produttivi.
MKS Instruments è leader riconosciuto in tutto il mondo per la precisione, la stabilità e la
ripetibilità dei suoi prodotti, caratteristiche essenziali che permettono ad ogni cliente di
replicare il processo su ogni impianto, in ogni azienda e in ogni paese.
GGK ha iniziato il rapporto di collaborazione con MKS Instruments nel 1986;
questo rapporto di successo si è nel tempo consolidato permettendo di creare
al nostro interno uno staff di vendita, di supporto applicativo e di assistenza di
altissimo profilo.
Strumentazione e controllo processo
MKS INSTRUMENTS
MKS Instruments
BARATRON® misura e controllo della pressione
I sensori a membrana capacitiva, conosciuti
universalmente con il nome Baratron®, sono tra i
prodotti di punta di Mks.
Strumentazione e controllo processo
Controllori automatici (analogici o digitali), valvole
a farfalla e a pendolo, completano la linea di prodotti necessari al totale controllo della pressione upstream e downstream nelle linee di
processo.
Trasduttore di pressione Baratron®
Trasduttori di pressione MicroBaratron®
MKS Intruments
Sistema per il controllo della pressione Upstream
Sistema per il controllo della pressione Downstream
MASSFLO® misura e controllo dei flussi
Le serie Mass-Flo Meter e Mass-Flo Controller
misurano e controllano il flusso di gas e grazie
alle loro caratteristiche, alla funzionalità e alle prestazioni, vanno incontro alle richieste dei produttori di componenti a semiconduttori, di dispositivi
ottici, di display a schermo piatto ed in applicazioni ultra-pure.
Alimentatore e lettore PR4000
Massflo Serie 11
Massflo Serie 15
Vuoto misura e gestione
La divisone HPS® produce componenti, anche
“customizzati”, quali valvole, sensori di misura, riscaldatori, trappole per foreline, realizzati specificatamente per un’ampia gamma di
applicazioni in vuoto. Questi offrono soluzioni
complessive ai problemi di contaminazione
dei sistemi, di downtime e di degasaggio.
HPS® offre inoltre per i settori biofarmaceutico
e biotecnologico, ove l’alta purezza dei materiali è requisito essenziale, una linea completa di
componenti conformi alle normative ASME
BPE.
Esempio di realizzazione di una “foreline”
Valvola a doppio stadio
Misuratori e trasduttori Serie 900
RGA - FTIR analisi dei gas
MKS offre un’ampia scelta di strumentazione
di alta gamma per l’analisi dei gas utilizzante
tecniche FTIR, NDIR e RGA.
Questi strumenti si rivelano specifici per analisi
dei gas in continuo, per il monitoraggio dei processi, per il monitoraggio delle celle combustibili,
per la rilevazione di tracce d’impurità, per il monitoraggio continuo delle emissioni (CEM) e l’analisi degli esausti.
Vision 1000 spettrometro di massa
Software Easyiew per la gestione dell’analisi dei gas
Multigas 2000 sistema FTIR
Pico™ ricerca delle fughe
MKS Instruments ha creato, ad integrazione dei prodotti per il controllo di flussi e pressioni, un
cercafughe portatile estremamente compatto adatto all’utilizzo su linee da vuoto e pressione.
Pico™ sniffing leak detector
Pico™ vacuum leak detector
RF/DC generatori per trattamenti in plasma
MKS ENI® produce una vasta gamma di generatori RF, alimentatori DC, DC pulsata e reti
d’adattamento destinati ai mercati della produzione di semiconduttori, deposizione film sottili e
ottici, e della produzione di supporti magnetici.
Caratteristiche peculiari di questi prodotti sono
un’elevata densità ed un ampio margine di potenza, un’ottima stabilità, ed un’elevata affidabilità,
caratteristiche che rendono questi generatori
adatti all’utilizzo in applicazioni critiche.
Generatori RF serie SurePower
Astex® gas reattivi
Il marchio Astex ® include una famiglia di generatori di gas reattivi, quali NF3 e Ozono ed una
gamma completa di sorgenti a microonde con
potenze da 250W a 6KW.
R_evolution sorgente a plasma per processi “on-wafer”
Sistema Liquozone
O3mega sistema integrato per la regolazione di ozono
Ion System® controllo elettrostatico
Strumentazione e controllo processo
La divisione ION Systems® produce strumenti atti
a fornire soluzioni al problema delle cariche
elettrostatiche in applicazioni tipiche del core
business MKS quali i semiconduttori, del mass
storage e dei display a schermo piatto. Sono
naturalmente applicabili anche ad altri settori
industriali.
Serie Aerobar
CIT control & information technology
Il gruppo CIT di MKS fornisce le tecnologie più aggiornate per il monitoraggio, il controllo e la raccolta in tempo reale dei parametri di processo, elementi critici in settori ove la tracciabilità del
processo risulta fattore fondamentale per la sicurezza e la ripetibilità del processo stesso.
Umetrics fornisce software in grado di effettuare un’analisi multivariata dei dati, per la prevenzione dei
possibili problemi sugli impianti.
MKS instruments