50 anni fa: l`invenzione del microchip
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50 anni fa: l`invenzione del microchip
discipline 50 anni fa: l’invenzione del microchip Giovanni Vittorio Pallottino La straordinaria diffusione di circuiti integrati, di complessità crescente negli anni, si deve alla loro affidabilità e alla riduzione dei costi di fabbricazione. A questi hanno contribuito sia i progressi delle tecnologie che l’automazione dei processi di produzione, dal silicio al chip finale. L’ L’invenzione del circuito integrato, avvenuta nel 1958 da parte dell’ingegnere americano Jack St. Clair Kilby (19232005), costituisce certamente una delle innovazioni più significative del secolo scorso, forse addirittura la più importante. Lo testimoniano i grandi cambiamenti nella nostra vita, nel lavoro come nel tempo libero, in ufficio, in viaggio e in casa, che sono stati prodotti dagli impieghi pratici di questo ritrovato. Innumerevoli chip sono infatti parte integrante ed essenziale dei calcolatori, dei telefonini, dei televisori, dei riproduttori di suoni, degli elettrodomestici, delle automobili e di altro ancora che utilizziamo quotidianamente. Grazie ad essi, nuove industrie sono sorte e totalmente nuove prospettive si sono aperte, si pensi soltanto a Internet e al Web, di assoluta rilevanza anche in termini economici e di occupazione. Ciò ha condotto a nuovi paradigmi, impensabili prima, come quello della società della conoscenza1 come obiettivo primario della comunità umana, in alternativa a modelli precedenti, nel riconoscimento del ruolo essenziale dell’informazione: un bene immateriale disponibile a tutti in quanto moltiplicabile senza limite, perciò costitutivamente diverso dai tradizionali beni materiali. La nuova tecnologia contribuisce così alla dematerializzazione della società sia in termini generali sia in concrete realtà nuove come ad esempio nel caso del telelavoro. La rilevanza veramente rivoluzionaria di questa innovazione ha trovato pieno, seppur forse tardivo, riconoscimento con l’assegnazione a Kilby del premio Nobel per la Fisica nel 2000, quattro decenni dopo l’invenzione [1]. Lo sviluppo dell’elettronica nei primi decenni del ‘900 Nella prima metà del ‘900, lo sviluppo dell’elettronica e delle sue applicazioni, all’epoca rilevanti soprattutto nel campo della radio e delle comunicazioni, è segnato dall’impiego dei tubi elettronici, la cui invenzione risale ai primi anni del secolo. L’utilità di questi dispositivi, per questo chiamati anche «valvole», sta nel fatto che essi consentono di controllare agevolmente il passaggio di una corrente elettrica in un circuito, per di più operando in tempi brevissimi. Ciò ha significato amplificare un segnale elettrico, modificarne la forma, elaborarlo insomma nei modi più vari con estrema flessibilità. Aprendo quindi la porta, fra l’altro, al trattamento di informazioni rappresentate in forma elettrica e in particolare, a partire dagli anni ’40, allo sviluppo dei calcolatori elettronici, in alternativa alle macchine di calcolo meccaniche proposte in precedenza. I tubi elettronici, tuttavia, sono relativamente ingombranti, la loro durata è di poche migliaia di ore e il loro funzionamento richiede quantità apprezzabili di energia2. E questo pone evidenti limiti pratici agli apparati che possono farne impiego. Una svolta fondamentale ha luogo negli stessi anni ‘40, quando i progressi delle conoscenze nel campo della fisica della materia, a seguito degli sviluppi della meccanica quantistica, consentono l’introduzione di nuovi dispositivi, i transistori, che svolgono funzioni analoghe a quelle dei tubi elettronici, ma assai più vantaggiosamente. Perché in essi la corrente elettrica che viene controllata scorre all’interno di un solido anziché nel vuoto, in corpi di dimensioni relativamente piccole (inizialmente dell’ordine di pochi millimetri, ma destinate poi a ridursi ulteriormente di parecchi ordini di grandezza) e la loro durata è pressoché illimitata. 1. Se in passato la potenzialità di una nazione si misurava in termini della sua capacità produttiva in tonnellate di acciaio o di cemento, oggi si considera piuttosto la qualità del suo capitale umano in termini di conoscenza. In questa linea si pongono i cosiddetti obiettivi di Lisbona, mirati alla crescita della competitività dei Paesi dell’Unione Europea. 2. Il controllo della corrente elettrica in un tubo elettronico avviene nel vuoto, all’interno quindi di un contenitore a tenuta, grazie a un campo elettrico che agisce sugli elettroni emessi da un catodo metallico. Questo va portato ad alta temperatura, riscaldandolo per mezzo di una corrente ausiliaria. NUOVA SECONDARIA - N. 5 2009 - ANNO XXVI 5 discipline I materiali utilizzati per realizzare questi dispositivi sono i semiconduttori, sostanze caratterizzate da conducibilità elettrica intermedia fra quella dei conduttori metallici e quella degli isolanti. In pratica si sfrutta il fatto che le proprietà elettriche dei semiconduttori possono essere modificate «drogandoli», cioè inserendovi piccole quantità di atomi di altre specie. Si ottengono così materiali nei quali la conduzione elettrica è affidata a elettroni liberi, perciò chiamati di tipo n, e altri nei quali invece la conduzione si deve a lacune, cioè cariche positive corrispondenti a elettroni mancanti, perciò chiamati di tipo p. I materiali semiconduttori utilizzati furono prima il germanio e successivamente il silicio [2], assai più abbondante in natura, ma meno facilmente trattabile e purificabile per la sua più alta temperatura di fusione (1414°C contro 938°C). Il transistore [3] nasce il 16 dicembre del 1948, presso i laboratori Bell Telephone. Gli scienziati che contribuirono all’invenzione e ai suoi sviluppi, i fisici americani John Bardeen, Walter Brattain e William Shockley, ricevettero nel 1956 il premio Nobel per la Fisica. Negli anni immediatamente successivi la disponibilità dei nuovi dispositivi, il cui funzionamento richiedeva potenze assai minori dei tubi elettronici, consentì la realizzazione di apparecchi portatili alimentati a batteria (radioricevitori, otofoni, …) come pure di grandi apparati elettronici, che contenevano anche molte migliaia di transistori: radar, calcolatori elettronici, … Questi ulteriori sviluppi trovavano però un limite in tre fattori importantissimi, che avrebbero trovato soluzione solo in seguito, con l’invenzione del circuito integrato: la difficoltà di ridurre ulteriormente le dimensioni degli apparati (problema della miniaturizzazione), i costi di fabbricazione3, e il problema dell’affidabilità, intesa come probabilità di buon funzionamento. Il problema più pressante riguardava proprio l’affidabilità, nella quale interveniva la cosidetta «tirannia dei numeri». Si capisce infatti che, al crescere del numero degli elementi costituenti, la probabilità di guasto di un apparato aumenta, e anche assai rapidamente, quando dovuta al guasto anche di uno solo di questi elementi4. Tale problema, fra l’altro, risultava di importanza decisiva nella realizzazione degli apparati militari, sopratutto in quegli anni in cui la guerra fredda era in atto con particolare vivacità. Il requisito dell' affidabilità, inoltre, era assolutamente irrinunciabile per gli apparati destinati allo spazio dove, sempre in quegli anni, si stava sviluppando una gara accanita fra Urss e Usa. Jack Kilby e il circuito integrato I problemi della miniaturizzazione, dei costi di fabbricazione e dell’affidabilità erano ben presenti all’industria, dove si cercava di risolverli. Presso varie società, fra cui la Texas Instruments, veniva esplorata in particolare una tecnologia ba6 NUOVA SECONDARIA - N. 5 2009 - ANNO XXVI sata sull’impiego di «micromoduli» aventi dimensioni standardizzate, da utilizzare come mattoncini nella realizzazione degli apparati elettronici. Ed è qui che interviene Kilby, un giovane ingegnere elettrotecnico che nel 1947 si era laureato all’univerLa prima proposta per realizzare sità dell’Illinois, aveva un circuito integrato si deve all’ingegnere inglese Geoffrey Dumconseguito il master mer, specialista di radar, che nel nel 1950 presso l’uni1952 aveva scritto: 5 versità del Wisconsin e «con l’avvento dei dispositivi a aveva poi lavorato per semiconduttore è possibile concepire apparati elettronici nella alcuni anni presso la forma di blocchi solidi senza fili Centralab, una società di connessione.» produttrice di compoChe egli immaginava costituiti da nenti elettronici (resistrati di materiali isolanti, conduttori, rettificanti o amplificanti. Ma stori, condensatori, Dummer non riuscì a concretizzaecc.). Volendo cambiare la sua proposta. re lavoro, egli scelse la Texas Instruments, perché questa società, che primeggiava nel campo dei dispositivi a semiconduttori6 avendo di recente commercializzato i primi transistori che utilizzavano silicio anziché germanio, era molto interessata ad affrontare il problema della miniaturizzazione. Assunto nel maggio del 1958, Kilby lavorò a un progetto impiegante appunto i micromoduli, arrivando però presto alla conclusione che quella strada non era particolarmente efficace, soprattutto in termini economici. Quanto accadde in seguito lo raccontò egli stesso in una intervista: «Piuttosto scoraggiato, cominciai a pensare che l'unica cosa che una ditta di semiconduttori poteva realizzare economicamente erano proprio i semiconduttori. E pensandoci meglio arrivai a concludere che i semiconduttori erano tutto quello che effettivamente occorreva, e che resistori e condensatori, in particolare, potevano esser fatti con lo stesso materiale dei dispositivi attivi.» I resistori, sfruttando la resistività del cristallo; i condensatori, usando la capacità di una giunzione p-n7 polarizzata inversamente. Durante l’estate Kilby non ebbe la possibilità di recarsi in va- 3. I collegamenti elettrici fra i transistori e gli altri componenti dei circuiti erano realizzati a mano, mediante saldature, e andavano poi controllati, uno per uno, per assicurarne il buon funzionamento. Sicché il costo totale di un apparato risultava decisamente superiore a quello delle sue parti costituenti. 4. Se p è la probabilità di buon funzionamento di un elemento, la probabilità di buon funzionamento P, cioè l’affidabilità, di un apparato che ne contenga n, per semplicità supposti identici, è evidentemente P = pn, nell’ipotesi che si tratti di guasti casuali, fra loro indipendenti. Per avere un’idea della numerosità dei componenti di un apparato elettronico degli anni ‘50, ricordiamo che uno dei primi calcolatori transistorizzati, la macchina Control Data CDC 1604, conteneva 25 mila transistori, 100 mila diodi e centinaia di migliaia di resistori e condensatori. 5. Sin da studente Kilby aveva le idee chiare. Nella lezione tenuta in occasione del conferimento del premio Nobel egli ricorda infatti quanto segue: «Fortunatamente, io studiai anche Fisica, ritenendo che questo potesse risultare più utile che sapere come si collega un trasformatore trifase. Retrospettivamente, sono contento di aver seguito quei corsi di Fisica» [1]. 6. Anche oggi la società Texas Instruments è uno dei maggiori produttori di semiconduttori a livello mondiale. 7. Una giunzione p-n si forma, in un cristallo semiconduttore, nella zona di separazione fra una regione di tipo p e una di tipo n. Tale giunzione si comporta come un diodo, conducendo agevolmente la corrente in un senso (polarizzazione diretta), ma non nell’altro (polarizzazione inversa), ed è dotata di apprezzabile capacità elettrica. canza essendo stato assunto soltanto da poche settimane. Rimasto a lavorare nello stabilimento semivuoto («Venni lasciato ai miei pensieri e alla mia immaginazione.»), egli ebbe piena occasione per dedicarsi a sviluppare in concreto la sua idea. Progettando un circuito i cui elementi Cosa s’intende per circuito fossero tutti realizzati integrato o microchip? in un cristallo semiconS’intende un circuito elettrico miduttore, come risulta niaturizzato, interamente codal suo quaderno di lastruito in un solido, più precisaboratorio (Fig. 1) alla damente in un sottile strato di materiale semiconduttore, usualta del 24 luglio, e poi mente silicio, nel quale tutte le costruendolo effettivaparti componenti (transistori, mente in una sbarretta diodi, resistori e condensatori) di germanio lunga 1 cm sono realizzate sfruttando le particolari proprietà elettriche di (Fig. 2): un oscillatore RC minuscole regioni opportunaa sfasamento. La dimomente trattate. strazione del funzionaFig. 1. Schema del primo circuito integrato della storia, dal quaderno di laboratorio di Kilby, 24 luglio 1958. Fig. 2. Fotografia del circuito, un oscillatore RC, realizzato da Kilby in una sbarretta di germanio lunga 1 cm. Si noterà la natura alquanto artigianale di questo storico prototipo. mento del primo circuito integrato della storia ebbe luogo il 12 settembre 1958, quando Kilby collegò il suo circuito a una pila di 12 volt e un’onda sinusoidale, alla frequenza di 1,3 MHz, apparve sullo schermo dell’oscilloscopio. Il contributo dei ricercatori Fairchild Bisogna dire che, nel momento in cui Kilby concepisce e poi porta a compimento la sua invenzione, i tempi erano più che maturi. Appena pochi mesi dopo, infatti, la stessa idea germoglia anche nei laboratori della società californiana Fairchild8, che rispetto alla Texas ha il vantaggio di aver messo a punto di recente nuove e assai efficaci tecnologie di fabbricazione. E infatti proprio in Fairchild sarà prodotto il primo circuito integrato commerciale (Fig. 3) per opera del fisico Robert discipline Norton Noyce (1927-1990), al quale Kilby stesso riconobbe poi il ruolo di coinventore9 del circuito integrato. Ma nei primi anni ’60 fra le due società ebbe luogo una vivace controversia, dovuta allo straordinario valore economico dei brevetti in gioco. In che cosa consisteva la tecnologia Fairchild che si dimostrò essenziale per la qualità dei dispositivi a semiconduttore e che infatti è largamente impiegata anche oggi? Si tratta del cosidetto processo plaFig. 3. Questo dispositivo, sviluppato da nare, parte essenziale del Noyce nel 1959 utilizzando il processo planare, fu il primo circuito integrato prodotto inquale è la protezione deldustrialmente e commercializzato (Immagine la superficie del silicio dal sito Fairchild Semiconductor). mediante ossidazione termica, creandovi così uno straterello di biossido di silicio, durissimo e impenetrabile all’acqua come a qualsiasi impurità. Questa idea si deve al fisico teorico svizzero Jean Hoerni (1924-1997), che la concepì nel 195710. Impiegato tuttora, il processo planare consentì un La battaglia dei brevetti Il brevetto concernente l’invenzione di Kilby (Texas Instruments) fu depositato il 6 Febbraio 1959, ma venne poi effettivamente concesso soltanto nel giugno 1964 con patent number 3,138,743. Il brevetto riguardante l’invenzione di Noyce (Fairchild), e in particolare la tecnologia planare, fu depositato il 30 luglio 1959, sei mesi dopo Kilby, ma venne poi concesso il 25 aprile 1961, cioè prima dell’altro. Nacque allora una battaglia legale, che si concluderà solo con il riconoscimento della priorità di Kilby e un accordo fra le due società, ciascuna delle quali potè utilizzare il brevetto dell’altra. Ma la vicenda non termina qui. Perché il brevetto riguardante l’invenzione di Kilby, che era stato depositato in Giappone nel 1960, rimase per decenni senza esito, a causa delle obiezioni sollevate dall’ufficio brevetti di quel Paese. La concessione avvenne infatti soltanto nell’ottobre 1989, con il risultato paradossale di accrescere grandemente il valore economico delle licenze relative al brevetto (che in Giappone ha una durata di 15 anni) rispetto al caso in cui la concessione fosse avvenuta due decenni prima, quando la produzione di circuiti integrati era assai minore. 8. La vicenda della società Fairchild ha un ruolo centrale nella storia della cosidetta Silicon Valley, la regione californiana appena a sud di San Francisco, dove si svilupparono numerose società di semiconduttori e in seguito società di informatica. La Fairchild nasce quando il gruppo di brillanti scienziati, che William Shockley (premio Nobel nel 1956) aveva radunato per fondare la società Shockley Semiconductor Laboratory, lo abbandona a causa del suo carattere insopportabile: fra essi Robert Noyce e Gordon Moore. Da ulteriori secessioni nasceranno poi Intel, oggi il maggiore produttore mondiale di semiconduttori, e altre imprese di grande successo fra cui National Semiconductor e Advanced Micro Devices. 9. Nell’autobiografia scritta in occasione del conferimento del Nobel, Kilby afferma: «Se Noyce fosse ancora in vita, non ho dubbi che avremmo condiviso il premio» [4]. 10. Il quaderno di laboratorio di Hoerni, al 1 dicembre 1957, registra una relazione dal titolo: «Metodo per proteggere le giunzioni p-n alla superficie dei transistori al silicio con tecniche di copertura mediante ossidazione». NUOVA SECONDARIA - N. 5 2009 - ANNO XXVI 7 discipline netto miglioramento delle prestazioni – in termini di qualità, resa di produzione e affidabilità – dei transistori e dei circuiti integrati. Esso permise, in particolare, di ridurre di ordini di grandezza, eliminando gli effetti di superficie, la corrente inversa che scorre in una giunzione p-n quando essa è polarizzata inversamente. L’ossido di silicio, inoltre, è parte essenziale dei transistori MOS (Metallo-Ossido-Silicio), dove costituisce lo strato isolante attraverso il quale l’elettrodo di comando controlla il flusso delle cariche nel semiconduttore sottostante (Fig. 4). Questo tipo di transistore sostituisce ormai da tempo, nella maggior parte dei circuiti integrati, la versione tradizionale di cui si era detto prima. Fig. 4. Schema semplificato del transistore (MOS) quasi universalmente usato oggi nei circuiti integrati. La tensione (VP) applicata all’elettrodo di comando (P) controlla il flusso della corrente nel canale, fra i due terminali indicati con S e D, attraverso lo straterello di ossido. La tecnologia dei circuiti integrati La straordinaria diffusione, in innumerevoli e spesso imprevisti impieghi, di circuiti integrati di complessità continuamente crescente negli anni si deve alla loro affidabilità e alla riduzione dei costi di fabbricazione, a cui hanno contribuito sia i progressi delle tecnologie che l’automazione dei processi di produzione, dal silicio al chip finale. Un risultato straordinario, ottenuto grazie a processi di fabbricazione automatizzati che si svolgono in condizioni di estrema «pulizia», è che l’affidabilità di un circuito integrato, contenente migliaia o milioni di elementi, è dello stesso ordine di grandezza di quella di un singolo elemento discreto. Il materiale di base, come si è detto, è il silicio, costituente essenziale della sabbia e di molti tipi di rocce, la cui abbondanza nella crosta terrestre è di circa il 25%. Il minerale viene trattato chimicamente e poi ulteriormente purificato nella forma di monocristalli cilindrici. Il processo ha inizio con l’estrazione del silicio dal minerale e la sua purificazione, che fornisce una cristallo purissimo (le impurità sono meno di un miliardesimo) nella forma di una barra cilindrica monocristallina con diametro fino a 30 cm11. Questa viene tagliata in fette sottilissime (con spessore di circa 0,75 mm) chiamate wafer, che vengono poi ricoperte di ossido isolante (SiO2) per proteggerle da qualsiasi contaminazione. È in questi sottili strati di silicio che i circuiti integrati 8 NUOVA SECONDARIA - N. 5 2009 - ANNO XXVI vengono realizzati. Le varie parti che li costituiscono (cioè i diversi componenti elettrici) sono costruite realizzando nel cristallo una molteplicità di zone drogate diversamente, cioè zone di semiconduttore di tipo p e di tipo n, ciascuna con opportune concentrazioni di atomi droganti. Ciò si ottiene mediante diffusione ad alta temperatura in apposite fornaci: qui gli atomi degli elementi droganti penetrano nel cristallo diffondendovi a profondità prefissate. Tale operazione viene ripetuta più volte, in modo da ottenere le strutture desiderate. Ogni volta proteggendo la superficie del cristallo con ossido di silicio, in seguito asportato selettivamente per consentire i drogaggi successivi. Ciascuna di queste operazioni di diffusione, tuttavia, deve interessare soltanto determinate zone del cristallo e non altre. Ciò si ottiene con raffinate tecnologie ottiche e chimiche che, detto in breve, equivalgono a disporre ogni volta sulla superficie del cristallo una «maschera» che consenta agli atomi di drogante di raggiungere soltanto le regioni prefissate. Al termine di queste operazioni occorre completare il circuito collegando elettricamente fra loro le diverse zone del cristallo: ciò si ottiene depositando sulla sua superficie delle striscioline fatte di metallo (alluminio o rame) oppure di semiconduttore fortemente drogato (che è un discreto conduttore). Il wafer viene poi spezzato in tanti chip quanti sono i circuiti integrati, tutti identici, in esso realizzati; questi vengono infine incapsulati nei contenitori finali (plastici, ceramici o metallici) e collegati elettricamente ai contatti esterni. I sistemi microelettromeccanici (MEM) Le raffinate tecnologie utilizzate per realizzare i circuiti integrati sono state ulteriormente sviluppate per costruire anche parti meccaniche, fisse e mobili, con dimensioni comprese tipicamente fra qualche millesimo e un decimo di millimetro. Ciò ha consentito di realizzare sistemi microelettromeccanici di varia complessità, che integrano assai efficacemente parti meccaniche ed elettriche. Esempi pratici al riguardo sono gli accelerometri usati nelle auto per comandare l’apertura degli air bag, gli eiettori piezolettrici usati nelle stampanti a getto d’inchiostro per lanciare sulla carta goccioline d’inchiostro con volumi del picolitro, i microspecchi orientabili (un milione in un chip) usati nei sistemi di proiezione di immagini di recente introduzione (Fig. 5). Fig. 5 Microspecchio (alluminio) Perni a torsione Supporto di sostegno Substrato (silicio) Elettrodi di comando Fig. 5. I circuiti integrati (DMD, Digital Micromirror Device) usati nella più recente tecnica di proiezione di immagini comprendono milioni di minuscoli microspecchi orientabili, comandabili singolarmente, disposti a formare una matrice. Ciascuno di essi, con dimensioni tipiche di 15 micron, riflette su uno schermo un elemento dell’immagine (pixel). 11. Merita ricordare che i primi cristalli di silicio avevano un diametro di 2,5 cm, e che nel prossimo futuro si prevede di arrivare a diametri di oltre 40 cm. discipline Caratteristiche principali di alcuni microprocessori Intel (dati Intel) Microprocessore Anno di introduzione Numero di transistori Frequenza di lavoro* 4004 1971 2.300 108 kHz 8080 1974 4.500 2 MHz 8086 1978 29.000 5 MHz 286 1982 134.000 6 MHz 486 1989 1.200.000 25 MHz Pentium 1993 3.100.000 66 MHz Pentium 4 2000 42.000.000 1,5 GHz Itanium 2 2002 220.000.000 1 GHz Xeon 2007 820.000.000 3,2 GHz * La frequenza di lavoro indica il ritmo di esecuzione delle istruzioni elementari di queste macchine. Gli impianti utilizzati attualmente per la fabbricazione dei circuiti integrati, che comprendono «camere pulite», fornaci per la diffusione, sistemi ottici raffinatissimi e vari altri apparati di alta tecnologia, sono estremamente costosi, richiedendo oggi investimenti di parecchi miliardi di dollari. Ciononostante il costo dei dispositivi, grazie agli enormi volumi di produzione e all’automazione dei processi, è relativamente basso. Se poi si considera la crescita continua del numero degli elementi contenuti nei circuiti integrati, si trova che il costo per elemento, diciamo per transistore, ha subito un abbattimento eccezionale dell’ordine del milione12, senza paragoni nella storia della tecnologia. E infatti, da vari anni ormai, sono alla portata di chiunque calcolatori assai più versatili (grazie ai programmi applicativi oggi disponibili) e di ordini di grandezza più potenti (per velocità di calcolo e capacità di memoria) di quelli, estremamente più costosi, che qualche decennio prima si trovavano soltanto nei grandi centri di ricerca scientifica. A questo, come in generale allo sviluppo dell’informatica degli ultimi decenni, ha contribuito in modo essenziale l’introduzione del microprocessore, il circuito integrato che contiene le parti essenziali di un calcolatore elettronico, avvenuta nel 1971 nei laboratori Intel per opera del fisico italiano Federico Faggin [5] e dell’ingegnere americano Marcian Edward «Ted» Hoff. Gli sviluppi di questo particolare, ma importantissimo, dispositivo sono rappresentati sinteticamente nella tabella in alto. La diffusione dei circuiti integrati e la legge di Moore Il fenomeno dell'abbattimento dei costi, come vari altri fenomeni analoghi riguardanti l'industria dei semiconduttori, si interpreta naturalmente in termini di un ciclo di reazione positiva. Man mano che diminuivano i costi dei prodotti, l'elettronica realizzata in forma integrata diventava economicamente competitiva in sempre nuovi settori d’impiego, allargando così il mercato dei semiconduttori e provocando un'ulteriore crescita della produzione a cui si accompagnavano, per ovvia conseguenza, nuove riduzioni dei costi. Ini- Figura 6. Particolare di una memoria ad altissima capacità realizzata con una struttura tridimensionale allo scopo di ridurre l’area di silicio necessaria: i cilindretti verticali sono condensatori, ciascuno dei quali memorizza un bit. Questo dispositivo è stato fabbricato nello stabilimento di Avezzano della società Micron, che può essere visitato inviando un messaggio all’indirizzo: [email protected]?subject=Pro grammi per le Scuole. zialmente assai costosi, i circuiti integrati poterono trovare impiego soltanto in campo militare e spaziale, dove i requisiti di affidabilità e di miniaturizzazione prevalgono su qualsiasi altra considerazione. La riduzione dei costi, in seguito, ne permise l’impiego anche nei calcolatori e in numerose applicazioni industriali, dalle telecomunicazioni all’automazione e ad altro ancora. In tempi meno lontani da oggi, infine, i circuiti integrati sono penetrati vivacemente nel settore delle applicazioni civili, fino agli innumerevoli gadget elettronici attualmente in circolazione. Appena pochi decenni fa, chi avrebbe pensato, per esempio, che il controllo dei cicli di lavaggio di una lavatrice o il funzionamento di una macchina fotografica, sarebbe stato gestito da un microprocessore? O che radioline o calcolatrici tascabili sarebbero stati disponibili a prezzi stracciati, a volte addirittura date via come regalo per invogliare all’acquisto di altri prodotti? La reazione positiva, per cui l’entità di una grandezza si accresce per opera dei cambiamenti indotti dalla sua stessa crescita, è un fatto relativamente comune, che interviene in fenomeni assai diversi quali ad esempio le esplosioni o la crescita vivace di una popolazione in un ambiente propizio; un caso citato spesso al riguardo è quello del vertiginoso aumento del numero dei conigli in Australia, a seguito della loro introduzione in un territorio dove non vi erano predatori che ne limitassero la crescita. Nei casi più semplici, la crescita derivante da un ciclo di reazione positiva segue la legge esponenziale, la quale costituisce la soluzione matematica della semplicissima equazione differenziale13 che descrive questi fenomeni. Si ha dunque una crescita relativa costante nel tempo, caratterizzata dal raddoppio della grandezza considerata dopo ogni intervallo di tempo di durata determinata. Ma questo è proprio ciò che sta avvenendo da quasi cinquanta anni nell'industria dei semiconduttori, dove si assiste alla crescita esponenziale nel tempo di tutti i principali indicatori, sia tecnici sia economi- 12. Il conto, seppure assai approssimato, è immediato. Un transistore discreto, alla fine degli anni ’50, costava attorno a 10 $, cioè più o meno quanto può costare oggi un circuito integrato che ne contiene un milione. 13. Se x è la grandezza variabile, l’equazione differenziale è , con soluzione: . NUOVA SECONDARIA - N. 5 2009 - ANNO XXVI 9 discipline ci: numero dei transistori integrati in un circuito, dimensioni caratteristiche elementari dei dispositivi, area di silicio occupata da un chip, fatturato complessivo, costo di un impianto di fabbricazione, e così via. Questa legge di crescita esponenziale, in particolare la crescita del numero massimo dei transistori realizzati in un singolo circuito integrato, viene chiamata legge di Moore, dal nome del chimico-fisico Gordon Moore, prima fondatore e poi per decenni presidente della società Intel della quale egli è oggi presidente emerito, prima ancora fondatore della società Fairchild dopo aver lavorato per qualche tempo con William Shockley. L’origine di questa legge empirica risale al lontano 1965 [6], cioè ai primordi della diffusione dei circuiti integrati, quando Moore tracciò un grafico con cinque punti sperimentali, che rappresentavano il logaritmo del numero massimo dei transistori contenuti nei circuiti integrati prodotti nel corso degli anni (Fig. 7). Dato che i punti giacevano, approssimativamente, su una retta, Moore potè stabilire il ritmo di crescita, che corrispondeva al raddoppio ogni anno. Per trarne indicazioni sullo sviluppo della nuova industria, egli si prese la libertà, e i fatti gli diedero poi piena ragione, di estrapolare il grafico al decennio successivo14. L'unica discrepanza fra i fatti osservati in seguito e la formulazione originale della legge di Moore riguarda il tempo di raddoppio, che negli anni successivi risultò un po’ maggiore, fra 18 e 24 mesi. Ma il fatto veramente straordinario è che questa legge empirica ancora oggi, a più di quaranta Fig. 7. Nel testo di questa immagine, riprodotta anni della sua introdudal sito Intel, si afferma che, se negli ultimi 30 zione, continua ad esanni l’industria aeronautica avesse compiuto gli stessi progressi di quella dei semiconduttori, ogsere verificata sperigi un volo da New York a Parigi dovrebbe rimentalmente. Cioè l’echiedere meno di un secondo e costare un centesimo di dollaro. quazione differenziale che descrive il fenomeno di crescita in tutti i suoi aspetti – fisici, tecnologici, economici e sociali – risulta effettivamente a coefficiente costante, sia pure con modeste variazioni, nel corso di un periodo lunghissimo, durante il quale l’industria dei semiconduttori si è espansa enormemente e ha subito grandi trasformazioni. 10 NUOVA SECONDARIA - N. 5 2009 - ANNO XXVI I limiti dell’integrazione Quanto a lungo resterà verificata la legge di Moore, cioè durerà ancora la crescita esponenziale? Il quesito è ben posto, dato che nei fenomeni di reazione positiva, che in definitiva rappresentano una forma di instabilità, interviene sempre, prima o poi, un fattore limitante (sappiamo, del resto, che l'Universo è finito e ancor più limitata è la parte a noi accessibile a breve). Non è certamente qui possibile trattare in dettaglio i diversi limiti (fisici, tecnologici ed economici), che già si manifestano o riguardano i prossimi orizzonti; ma conviene tuttavia farne almeno qualche cenno. Si comprende facilmente che vi sono limiti di natura pratica, come lo smaltimento del calore generato dalla dissipazione della potenza necessaria al funzionamento dei circuiti integrati, che contengono un numero crescente di transistori sempre più piccoli, ai quali si richiede di commutare sempre più rapidamente fra i due stati logici che rappresentano l’informazione. Già oggi le potenze assorbite dai microprocessori più veloci superano 100 watt, con tensioni di alimentazione fra 1 e 2 volt, ciò che tuttavia corrisponde a un assorbimento mediamente modestissimo da parte dei singoli transistori che li costituiscono. In queste condizioni è chiaro che diventa necessario prevedere l’impiego di sistemi di smaltimento del calore15 sempre più complessi e ingombranti. Limiti di natura tecnologica riguardano i sistemi ottici che, utilizzando le «maschere» di cui si è fatto cenno prima, provvedono a trasferire sul silicio le «immagini» delle regioni da sottoporre a drogaggio nelle diverse ripetizioni di questa operazione. Negli anni, con la crescita del numero dei componenti da realizzare in aree di silicio la cui superficie non può certamente aumentare oltre limiti pratici (arrivando oggi fino a parecchi cm2), la dimensione caratteristica minima di queste regioni si è grandemente ridotta, dalle decine di micron ai 45 nm della tecnologia più recente16. Per ottenere questo risultato, tuttavia, è stato necessario abbandonare la luce visibile utilizzata in passato, ricorrendo a radiazioni con lunghezza d’onda più piccola, compatibile con la risoluzione desiderata17, cioè a luce ultravioletta. E infatti oggi a questo scopo si utilizzano sorgenti laser ArF con lunghezza d’onda di 193 nm, mentre in futuro si prevede di utilizzare in radiazioni di lunghezza d’onda ancora minore, che rientrano nella gamma dei raggi X, con le quali però le ottiche tradizionali 14. Si apprezza ancor meglio la straordinaria preveggenza di Moore ricordando che all’epoca egli era un dirigente della Fairchild e che la quasi totalità del fatturato di quella società, sebbene questa avesse in produzione vari tipi di circuiti integrati, proveniva dalla vendita dei transistori discreti. 15. Le prospettive di sviluppo elaborate dall’industria dei semiconduttori prevedono in particolare che fra qualche anno si raggiungano densità di potenza di 100 W/cm2, cioè dello stesso ordine di grandezza di quella del filamento di una lampadina. 16. Una cella elementare di memoria (1 bit) realizzata con questa tecnologia occupa una superficie di appena 0,24 micron quadri. Sicchè ne rientrano 400 milioni in 1 cm2 di silicio. 17. Per ottenere elevate risoluzioni superando i limiti posti dalla diffrazione, è certamente possibile, in alternativa alle radiazioni elettromagnetiche, usare un fascio di elettroni, seguendo lo stesso principio utilizzato nei microscopi elettronici. Questa scelta, tuttavia, non è praticabile per l’estrema lentezza del processo, che infatti richiede una scansione seriale dell’immagine, punto per punto, da parte del fascio di elettroni; mentre la scansione da parte della luce avviene in parallelo, e quindi in tempi brevissimi. cessano di funzionare e occorre sviluppare nuove soluzioni. Ma i limiti più preoccupanti sono quelli di natura fondamentale, riguardanti il comportamento di porzioni di materia sempre più piccole (strati sottilissimi, regioni drogate di dimensioni minimali e perciò contenenti un numero bassissimo di atomi droganti, …). Che risulta assai diverso dall'usuale perché in queste condizioni intervengono effetti di natura quantistica. Un fenomeno particolarmente rilevante è il passaggio di una corrente apprezzabile per effetto tunnel attraverso uno straterello isolante di piccolo spessore. Che è appunto quanto avviene nell’isolante che separa l’elettrodo di comando dal canale in cui scorre la corrente, nei transistori MOS usati oggi; nei quali la riduzione in scala di tutte le dimensioni ha condotto a spessori dell’ordine di pochi nm (ricordiamo che un atomo di silicio ha un diametro di 0,25 nm). Per risolvere il problema, cioè aumentare lo spessore dell’isolante per ridurre le perdite di energia dovute alla corrente tunnel a parità di capacità elettrica18 fra l’elettrodo di comando e il canale, si è scelto di sostituire l’ossido di silicio con materiali isolanti aventi costante dielettrica relativa più elevata: in particolare ossidi e silicati di afnio e di altri elementi particolari, con costanti dielettriche tipicamente 5 volte discipline fisico teorico americano Richard Feynman in una sua famosa conferenza del 1959 [7]. Proprio come accadde quando gli sviluppi della fisica dello stato solido portarono all’abbandono dei tubi a vuoto grazie all'introduzione prima del transistore e poi del circuito integrato. Anche così procedendo, tuttavia, qualunque nuova strada si segua si incontreranno dei limiti, stabiliti dalla velocità della luce e dalla natura atomica come ha affermato nel 2005 il fisico inglese Stephen Hawking durante una visita ai laboratori Intel. Un calcolo effettuato su questa base indica l’anno 2036 come la data finale per la validità della legge di Moore [8]. Nel frattempo, tuttavia, altri problemi potrebbero rallentare la crescita dell’industria dei semiconduttori. Il fenomeno di reazione positiva che finora l’ha sostenuta potrebbe infatti indebolirsi se non si aprissero nuovi mercati di massa tali, come è avvenuto in passato, da sostenere la spesa, sempre più ingente, dello sviluppo tecnologico. Sicchè l’industria potrebbe non essere più in grado di produrre circuiti integrati sempre più complessi a costi sempre più bassi, come nei decenni trascorsi. Giovanni Vittorio Pallottino Università «La Sapienza» - Roma 18. La capacità di un condensatore piano è direttamente proporzionale al rapporto fra la costante dielettrica e lo spessore dell’isolante. Si può dunque aumentare lo spessore dell’isolante, prevenendo l’effetto tunnel, se nel contempo si aumenta la sua costante dielettrica, grazie all’impiego di materiali opportuni, in modo da mantenere costante la capacità. BIBLIOGRAFIA Fig. 8. Il grafico originale, tracciato da Gordon Mooore nel 1965, la cui estrapolazione costituisce la legge di Moore. In ascissa sono riportati gli anni, a partire dall’introduzione dei circuiti integrati commerciali, in ordinata il logaritmo in base 2 del numero massimo di transistori contenuti nei circuiti integrati prodotti in ciascun anno. maggiori di quella dell’ossido di silicio. È tuttavia evidente che lo stesso problema si riproporrà fra qualche tempo, assieme ad altri che non abbiamo menzionato, a fronte delle ulteriori riduzioni in scala da affrontare nei prossimi anni, quando la dimensione caratteristica minima si ridurrà prima a 32 nm, poi a 22 nm, e poi ancora … Le previsioni dell’industria indicano tuttavia che limiti veramente invalicabili si manifesteranno fra circa 10 anni. Ma assai probabilmente a quel momento la ricerca fisica avrà individuato nuove soluzioni, in particolare utilizzando direttamente, in nuove strutture, quegli stessi fenomeni quantistici che oggi costituiscono un limite per le strutture integrate tradizionali; muovendosi nella direzione dello sviluppo delle nanotecnologie secondo il programma tracciato dal grande [0] Museo virtuale IEEE. http://www.ieee-virtual-museum.org/exhibit/exhibit. php?taid=&id=159270&lid=1&seq=1&view. [1] J.S.Kilby, Turning Potential into Reality: The Invention of the Integrated Circuit (Nobel Lecture 2000). http://nobelprize.org/nobel_prizes/physics/laureates/2000/ kilby-lecture.html. [2] F. Seitz, N. G. Einspruch, La storia del silicio - Elettronica e comunicazioni, Bollati Boringhieri, 1998. [3] G. V. Pallottino, Fisica e società: l’invenzione del transistore. http://www.roma1.infn.it/rog/pallottino/articoli%20divulgativi/Transistore per DdS.pdf. [4] J. S. Kilby, Autobiography (2000) http://nobelprize. org/nobel_prizes/physics/laureates/2000/kilby-autobio.html [5] http://micro.magnet.fsu.edu/creatures/pages/faggin.html; http://www.roma1.infn.it/rog/pallottino/articoli%20divulgativi/Faggin.htm. [6] G. Moore, Cramming more components onto integrated circuits, Electronics, 19 Aprile 1965. ftp://download.intel.com/research/silicon/moorespaper.pdf. [7] R. Feynman, There's Plenty of Room at the Bottom, Congresso annuale della American Physical Society, Dicembre 1959. http://www.zyvex.com/nanotech/feynman.html. [8] James R. Powell, The Quantum Limit to Moore’s Law, Proc. IEEE, Agosto 2008, pp. 1247-1248. NUOVA SECONDARIA - N. 5 2009 - ANNO XXVI 11