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CAPITOLO III GIUNZIONI METALLO-SEMICONDUTTORE (M-S) (G. Lullo, S. Riva Sanseverino) L’impiego pratico delle giunzioni p-n, nonché la tecnologia dei circuiti integrati utilizzano comunemente i contatti metallo-semiconduttore nelle interconnessioni tra i vari componenti di un circuito integrato e nei punti di accesso dall’esterno. Dato che le giunzioni tra materiali conduttori e materiali semiconduttori possono avere carattere rettificante, oltre che ohmico, trovando vaste applicazioni come diodi (diodi Schottky), è bene affrontarne lo studio in modo analogo a quanto fatto per le giunzioni p-n. 3.1. - Giunzione M-S in assenza di polarizzazione (in condizioni di equilibrio). Sappiamo che nei metalli il livello di Fermi EF si trova entro un insieme continuo di stati energetici permessi, mentre nei semiconduttori, con concentrazioni droganti normali, EF cade entro la banda interdetta e cioè dove non vi sono stati energetici occupabili da elettroni o lacune. Richiamiamo brevemente in fig. 1 gli andamenti delle densità degli stati energetici occupati da elettroni in funzione di E ed i diagrammi a bande rispettivamente per un metallo (M) e un semiconduttore (S) che supponiamo di tipo n. M N(E) S N(E) N(E) stati energetici riempiti N(E) N(E)·F(E) N(E)·F(E) EV EF EC E EF E0 E livello di riferimento E0 qχ qΦ M qΦ S EC EF EV EF Fig. 1 (Dicembre 2004) III . 2 G. Lullo, S. Riva Sanseverino - Giunzioni metallo-semiconduttore (M-S) Nel metallo il lavoro di estrazione vale qΦM, mentre nel materiale semiconduttore risulta pari all'energia qΦS = E0 - EF e varia con il drogaggio. Viene definita come affinità (°) elettronica qχ l’energia E0 - EC , che risulta ovviamente indipendente dal drogaggio . Dato che il livello di Fermi EF esprime l'energia media totale posseduta dagli elettroni sia nei metalli sia nei semiconduttori, considerando i due materiali separatamente l’uno dall'altro e cioè isolati, si può affermare che, se ΦM < ΦS , gli elettroni nel metallo saranno più "energetici" che nel semiconduttore e viceversa se ΦM > ΦS. Ciò fa intuitivamente prevedere che, nel momento in cui si stabilisce un contatto tra i due materiali (giunzione metallo - semiconduttore), la differenza di energia posseduta causerà un trasferimento di elettroni dal metallo al semiconduttore nel primo caso o viceversa nel secondo. Questo processo si fermerà non appena i due livelli di Fermi si saranno allineati. In equilibrio, il trasferimento di elettroni determina, entro il semiconduttore, una densità totale di carica diversa da zero e quindi la nascita di un campo elettrico che agisce in modo da bilanciare la tendenza degli elettroni ad occupare stati energetici a energia più bassa. E' possibile tracciare qualitativamente, in condizioni di equilibrio, i diagrammi a bande per la giunzione M-S considerata, ricordando che debbono essere rispettate le seguenti proprietà: a) il livello di Fermi EF è costante attraverso la giunzione; b) il livello di riferimento EO non può che essere una funzione continua del punto; c) l'affinità elettronica χ dei materiali semiconduttori è costante con la coordinata x. Ciò posto, tracciamo il diagramma a bande nel caso ΦM > ΦS (fig. 2.a): A E0 E0 E0 E0 qχ qΦ M qΦ S qΦ M qχ qΦ i EC EF EF EV M S M a) EC EF EV qΦ MS EF qΦ S S A’ b) Fig. 2 (°) Poiché interessano le differenze di energia, i valori numerici delle suddette quantità sono riferite al livello EO, che è pari all'energia minima necessaria all'elettrone per abbandonare il materiale cui apparteneva. G. Lullo, S. Riva Sanseverino - Giunzioni metallo-semiconduttore (M-S) Esercizio: III . 3 tracciare qualitativamente i diagrammi a bande per giunzioni M-S (tipo n) per i casi: a) ΦS > ΦM > χ ; b) ΦM < χ Dal diagramma di fig. 2.b) si nota che alla transizione (sezione AA' ) c'è una brusca discontinuità degli stati energetici permessi agli elettroni, che vale: (1) qΦMS = q (ΦM - χ ) e dipende dalla scelta della coppia metallo - semiconduttore. Il salto di potenziale qΦi , per coppia assegnata, dipende invece dal drogaggio del semiconduttore e si viene a creare in conseguenza dell'abbandono, da parte degli elettroni della banda di conduzione del semiconduttore, degli stati energetici ad energia più alta rispetto a quella degli stati disponibili nel metallo. Il maggiore scostamento di EC da EF nel semiconduttore in prossimità della giunzione richiama il fatto di una ridotta concentrazione di elettroni liberi e quindi una densità totale di carica diversa da zero e pari a quella degli ioni fissi delle impurità droganti, assumendo valida, anche in questo caso, l’ipotesi dello svuotamento totale già assunta nell’analisi delle giunzioni p-n. Quanto qui si è andato esponendo si basa sull’ipotesi che, in prossimità della superficie di transizione tra i due mezzi, sia il metallo sia il semiconduttore continuino ad essere rappresentati dalle strutture a bande assunte rispettivamente all'interno dei solidi cristallini ed è fin troppo ovvio che questa ipotesi costituisca una approssimazione. Basti pensare che l'allineamento di atomi in corrispondenza della superficie di transizione vede una struttura tipicamente asimmetrica. Così come avviene in presenza di difetti del reticolo cristallino, anche in questo caso la suddetta dissimmetria modifica la struttura a bande, introducendo nuovi stati energetici nella banda interdetta con concentrazione non nulla solo in prossimità della superficie di transizione (stati superficiali). In Tabella 1 vengono riportati sia i valori dell'affinità elettronica di alcuni materiali semiconduttori che i valori del lavoro di estrazione per i metalli più comuni. Analizziamo adesso la giunzione M-S in equilibrio con riferimento al caso in cui sia ΦM > ΦS e vediamo di dedurre le analoghe quantità che hanno caratterizzato la giunzione p-n. Innanzi tutto si nota che, osservando la fig. 2.b), si può scrivere: (2) qΦ i = q (ΦM - ΦS ) = q (ΦM - χ ) - | EC – EF | n dove l'ultima quantità va valutata nel semiconduttore a grande distanza dalla giunzione. III . 4 G. Lullo, S. Riva Sanseverino - Giunzioni metallo-semiconduttore (M-S) Semiconduttore qχ (eV) Metallo qΦ M (eV) Ge 4,13 Cu 4,50 Si 4,05 Al 4,25 GaAs 4,07 Pt 5,60 GaP 3,80 W 4,50 InP 4,38 Au 5,10 CdS 4,80 Ag 4,30 Tabella 1 Inoltre, dato che l'interno di un metallo è equipotenziale, gli elettroni che dal semiconduttore si sono trasferiti nel metallo si a) -- + + + + --- + + + + -- + + + + M addensano in uno strato di spessore infinitesimo alla superficie del metallo, dando origine ad una S (n) W funzione delta di carica. Nel semiconduttore ρ invece, data la minore densità di elettroni rispetto al metallo, la carica totale (di segno ρ n = q ND opposto), dovuta agli atomi donatori ionizzati, occuperà uno spessore molto maggiore. b) 0 W x Nell'approssimazione dello svuotamento totale, già fatta a proposito delle giunzioni p-n e -q NDW nel caso di drogaggio uniforme si ha, integrando successivamente l'equazione di Poisson (fig. 3): (3) (4) Ex Φi = Ex =− E c) q NDW Ex εs W q ND W = 2 2εs V 2 Φi da cui: d) (5) W = 2ε s q 1 Φi ND x x Fig. 3 G. Lullo, S. Riva Sanseverino - Giunzioni metallo-semiconduttore (M-S) III . 5 La carica totale nel semiconduttore vale: (6) QS = A q ND W avendo indicato con A l'area della giunzione; sostituendo la (5) nella (6) si ha: (7) QS = A Esercizio: 2ε sq ND Φ i Disegnare il diagramma a bande per una giunzione in equilibrio tra Cu e Si drogato con ND = 1017 cm-3. Si calcolino le concentrazioni di elettroni e lacune in corrispondenza della sezione di giunzione. 3.2. - Giunzione M-S in presenza di polarizzazione. Come si può osservare dalla fig. 3.d) che, a scala q, fornisce l’inclinazione dei diagrammi delle bande del semiconduttore nella transizione M-S, il salto di potenziale Φ i cade per intero nel semiconduttore. L’applicazione dall’esterno di una differenza di potenziale alla giunzione M-S agirà, come si è visto per le giunzioni p-n, nel senso di far aumentare (polarizzazione inversa) o di far diminuire (polarizzazione diretta) l’altezza della barriera di potenziale Φ i in condizioni di equilibrio. Anche in questo caso, la trattazione è valida se si ammette che in presenza di polarizzazione le condizioni di equilibrio siano di poco alterate (condizioni di quasi equilibrio). Nel caso in esame, la barriera sarà abbassata (innalzata) se polarizzeremo il metallo positivamente (negativamente) rispetto al semiconduttore. Quindi un diodo M-S con ΦM > ΦS sarà polarizzato direttamente se si connetterà la tensione come è indicato in fig. 4.a). Invertendo la polarità della tensione V, si otterrà, ovviamente, la polarizzazione inversa. In fig. 4.b) è rappresentato il simbolo correntemente usato per questo tipo di diodi. metallo semiconduttore di tipo n V V a) b) Fig. 4 G. Lullo, S. Riva Sanseverino - Giunzioni metallo-semiconduttore (M-S) Esercizio: III . 6 Disegnare i diagrammi a bande per la giunzione dell'esercizio precedente con tensione applicata pari a +0,2 V e -1 V. 3.3. – Capacità di barriera. Se dall'esterno applichiamo una tensione V che polarizzi inversamente la giunzione, la carica totale scoperta, espressa in condizioni di equilibrio dalla (7), si porterà al valore: (8) QS = A 2 ε s q N D (Φ i + V ) e la capacità differenziale di barriera sarà: (9) C∆ = d QS dV q ε s ND =A 2 (Φ i + V ) che potrà porsi sotto la forma: (10) C∆ = A εs W analoga alla (11) del Cap. II delle dispense, dove: (11) W = 2εs q (Φ i +V ) ND Esplicitando nella (9) la tensione V, si ha: (12) Φ i +V = A 2 q ε s ND 2 C ∆2 Se si misura la capacità differenziale di barriera a varie tensioni di polarizzazione inverse e si riportano in un grafico (fig. 5) i valori della grandezza 1/C∆2 in ordinate ed i corrispondenti valori delle tensioni applicate in ascisse, è possibile dalla (12) e dal coefficiente angolare della retta, risalire alla valutazione del drogaggio ND. Questo metodo III . 7 G. Lullo, S. Riva Sanseverino - Giunzioni metallo-semiconduttore (M-S) ρ(x) 1/C∆2 metallo semiconduttore q ND(x) xj -Φ i 0 0 Vinv. ∆x q ∫ x x j N D ( x ) dx 0 Fig. 5 Fig. 6 viene comunemente adottato per misurare sperimentalmente la concentrazione di atomi droganti dopo il processo di diffusione delle impurità nelle fette di silicio. Sinora si è supposto che il drogaggio ND fosse uniforme; è possibile estendere il metodo già descritto per la determinazione del profilo del drogaggio ND (x) nel caso di concentrazione di impurità non uniforme. Con riferimento alla fig. 6, facciamo l’ipotesi che il semiconduttore sia stato drogato con l’andamento di ND (x) indicato in figura. Supponiamo di avere applicato alla giunzione M-S una tensione inversa cui corrisponda una zona svuotata di cariche mobili di spessore xj. La carica totale scoperta vale in questo caso, sempre nell’ipotesi dello svuotamento totale: QS = A q ∫ x j N D ( x ) dx 0 Un incremento ∆V della tensione inversa applicata causa una variazione ∆QS pari a A q ND(x) ∆x che potrà porsi come C∆ (x) ∆V. Pertanto, per ∆V → 0, si ha: ND (x )= (13) C∆ (x ) Aq d x dV ma ricordando la (10), con W = x, in questo caso si ha: d x dV = d x d C∆ d C∆ da cui, sostituendo nella (13), si ottiene: dV =− AεS d C∆ C ∆2 dV G. Lullo, S. Riva Sanseverino - Giunzioni metallo-semiconduttore (M-S) C∆ ND (x )= − (14) Aq C ∆2 2 = AεS d C∆ q εS A2 dV III . 8 d dV 1 2 C∆ 2 L’inverso della pendenza del grafico di 1/ C∆ in funzione di V fornisce, a scala 2 2 / (q εS A ), il profilo della concentrazione drogante ND(x). La corrispondenza dei valori della tensione inversa con x è data ancora dalla (10) attraverso la determinazione di C∆. Esercizio: Far vedere che, anche nel caso di drogaggio disuniforme, la capacità di barriera, con buona approssimazione, è espressa dalla (10). 3.4 – Caratteristica I-V della giunzione M-S. Ricaviamo adesso la caratteristica I - V della giunzione M-S. In condizioni di equilibrio, nell'unità di tempo, vi saranno tanti elettroni che attraverseranno la giunzione, portandosi dal semiconduttore nel metallo, quanti da questo nel semiconduttore. Questa migrazione è dovuta all'agitazione termica che tiene in costante movimento gli elettroni liberi nei due materiali. In queste condizioni la densità di corrente netta è nulla, nel senso che la componente qnvth diretta in un verso sarà bilanciata da una componente eguale e di segno opposto. La concentrazione nS di elettroni liberi alla giunzione M-S può porsi, osservando il diagramma di fig. 2.b), pari a: (15) ns = NC e − q Φ MS kT = NDe − qΦi kT e pertanto le due correnti dirette dal semiconduttore al metallo (S → M) e viceversa (M → S) saranno date da: I S →M = I M →S = h N D e − qΦi kT ove h è una costante di proporzionalità, comprendente la velocità di agitazione termica. G. Lullo, S. Riva Sanseverino - Giunzioni metallo-semiconduttore (M-S) III . 9 L'applicazione di una tensione V dall'esterno, dato che il potenziale cade nel semiconduttore, modifica la disponibilità di elettroni liberi che dal semiconduttore possono migrare nel metallo, lasciando invece inalterata la componente di corrente IM→S . In presenza di polarizzazione diretta avremo: ns = ND e − q ( Φ i −V ) kT e quindi I S →M = h N D e − q ( Φ i −V ) kT e pertanto la corrente netta varrà : I S →M − I M →S = h N D e − qΦi kT qV kT e − 1 che potrà porsi come l'equazione del diodo (si veda la formula (25) del Cap. II delle dispense): I =IS qV kT e − 1 Da questa espressione si rileva che in polarizzazione inversa circola una corrente inversa IS che, dal ragionamento seguito, appare indipendente dalla tensione inversa applicata. In realtà la corrente inversa dipende dalla tensione inversa applicata in quanto nascono, alla giunzione, fenomeni analoghi all'effetto Schottky, che si verifica a proposito dell'emissione di elettroni da parte di un metallo in presenza di campi acceleranti. La presenza del campo applicato dall'esterno sulla superficie del metallo sostanzialmente abbassa il lavoro di estrazione del metallo (qΦM ). Nel caso delle giunzioni M-S, in polarizzazione inversa, si ha lo stesso abbassamento del lavoro di estrazione (abbassamento Schottky) che riduce il salto di energia qΦMS . Di conseguenza si ha una maggiore concentrazione di elettroni liberi che dal metallo possono passare nel semiconduttore e quindi un aumento della componente IM→S con la tensione inversa applicata. III . 10 G. Lullo, S. Riva Sanseverino - Giunzioni metallo-semiconduttore (M-S) Misure sperimentali effettuate su giunzioni M-S hanno mostrato che la caratteristica I - V è meglio approssimata dalla espressione: I =IS qV mkT −1 e ove m è un numero adimensionale dipendente dalla coppia di materiali che formano la giunzione M-S; i valori di m sono compresi tra 1,02 ed 1,15. Per giunzioni Al-Si, m vale 1,07. 3.5 - Contatti ohmici tra metalli e semiconduttori Abbiamo visto che, se ΦM > ΦS , la regione di semiconduttore a contatto con il metallo si svuota di elettroni liberi e ciò fa nascere una barriera di potenziale. L'applicazione di una tensione esterna può agire su questa barriera ma essenzialmente la corrente che può fluire attraverso la giunzione M-S è controllata dal salto di potenziale Φ i ± V. Si possono avere contatti metallo-semiconduttore in cui la giunzione M-S, al passaggio della corrente in entrambe le direzioni, offre una resistenza trascurabile rispetto a quella presentata dal corpo del semiconduttore (caduta ohmica). In questo caso si parla di contatti ohmici o non rettificanti. Essi possono essere di due tipi: a) contatti ohmici che sfruttano l’effetto tunnel; b) contatti ohmici di tipo Schottky. Nei primi si raggiunge lo scopo drogando molto intensamente il semiconduttore. Infatti, osservando il diagramma di fig. 2.b), si vede immediatamente che l'aumento del drogaggio di tipo n del semiconduttore causa sia l'avvicinamento del livello di Fermi all'estremo inferiore della banda di conduzione, sia la riduzione della larghezza W della A E0 qΦ i E0 zona qΦ M svuotata (formula 5). qχ Quando la larghezza W si riduce a qualche decina di Ångstrom, il passaggio di elettroni da M ad S e viceversa avviene per un EC EF EV qΦ MS EF nuovo fenomeno di trasporto di carica, che si chiama "effetto tunnel", su cui si basa il funziamento dei “diodi tunnel”. M S A’ Fig. 7 III . 11 G. Lullo, S. Riva Sanseverino - Giunzioni metallo-semiconduttore (M-S) 19 Il diagramma a bande di fig. 2.b) in caso di drogaggi dell'ordine di ~10 cm -3 (semiconduttore degenere) diventa quello rappresentato in fig. 7. In questo caso il passaggio di elettroni non richiede l’energia necessaria per superare la barriera (~ qΦMS ), ma avviene tra stati energetici occupati da una parte della barriera e stati energetici di eguale energia disponibili dalla altra parte della barriera. Dalla figura si vede immediatamente che questa condizione si viene a creare allorché una seppur piccola tensione venga applicata dall'esterno con una polarità o con l'opposta. Ne consegue sia una resistenza trascurabile offerta dalla giunzione M-S al passaggio della corrente, sia la perdita del carattere rettificante della giunzione. Il secondo tipo di contatti ohmici si può realizzare facendo in modo che alla giunzione, in assenza di polarizzazione, si abbia, piuttosto che uno svuotamento di elettroni liberi, una concentrazione in eccesso rispetto alla concentrazione di equilibrio. Richiamando quanto esposto nel paragrafo 3.1, questa condizione si verifica quando si sceglie un metallo il cui lavoro di estrazione è minore di quello del semiconduttore (qΦM < qΦS ). In questo caso gli elettroni si trasferiscono dal metallo al semiconduttore; la loro densità, in eccesso rispetto alle condizioni di equilibrio, fornisce, una carica negativa distribuita nel semiconduttore in prossimità della giunzione compensata da una δ di carica positiva alla superficie del metallo. Si osservi A E0 E0 bene che, a differenza di quanto esaminato nel qχ paragrafo 3.1, qui il campo elettrico interno e qΦ M di conseguenza il potenziale non sono dovuti qΦ i alla presenza di cariche fisse ionizzate e localizzate, bensì a cariche mobili (elettroni in qΦ S EC EF EV EF eccesso) la cui distribuzione va ricercata. Comunque è possibile tracciare in modo qualitativo (fig. 8) il diagramma a bande per una giunzione con ΦM < ΦS salvo poi a M S A’ Fig. 8 verificarne il preciso andamento. Per trovare la soluzione di questo problema, occorre risolvere l’equazione di Poisson; ma in questa occorre mettere la densità ρ(x) della carica totale che dipende, come si è detto, dalla distribuzione degli elettroni liberi. Per questi si può assumere, anziché una funzione del punto, una distribuzione in funzione dell'energia che segua la statistica di Boltzmann. Ciò vuol dire che la concentrazione di elettroni liberi nella banda di conduzione dipende dal potenziale Φ attraverso la funzione e (qΦ /kT) . Nel nostro caso, indicando come riferimento del G. Lullo, S. Riva Sanseverino - Giunzioni metallo-semiconduttore (M-S) III . 12 potenziale la stessa superficie (cioè ponendo Φ = 0, per x = 0), la densità degli elettroni in eccesso varrà: qΦ (16) n' = n s e (x) kT dove Φ (x) è una funzione da determinare (si osservi che il potenziale Φ (x) è intrinsecamente negativo). In questa ipotesi l'equazione di Poisson da risolvere diventa: (17) d 2Φ dx 2 = q n' εs = (18) E E dΦ = q ns εs kT e εs Quest'equazione si può trasformare, ricordando che d qΦ q ns E( x )= − dΦ ( x ) d x , in: qΦ ( x ) kT e che, integrata, fornisce (19) E( x )= 2 kT n s εs qΦ ( x ) e 2 kT Integrando una seconda volta, si ottiene (20) Φ( x)=− 2 kT q ln 1 + x 2 LD dove la lunghezza: (21) LD = ε s kT ns q 2 viene definita come "lunghezza di Debye”. Sostituendo la (20) nella (19) e nella (14), si ottengono rispettivamente: G. Lullo, S. Riva Sanseverino - Giunzioni metallo-semiconduttore (M-S) (22) E( x )= 2 kT q LD III . 13 1 x 1+ 2 LD (23) n' = n s 1 1 + x 2 LD 2 Da quest'ultima equazione, si vede che LD fornisce una misura della estensione, nel semiconduttore, dello strato formato dagli elettroni liberi in eccesso al contatto ohmico M-S. Ricordando che Φ i (vedi fig. 8) vale: Φi = EC −EF q − (Φ M − χ ) n lo spessore W della zona, nel semiconduttore, con ρ ≠ 0 dalla (18), risulta essere W = Esercizio: 2 LD q Φi 2 kT e −1 Per un contatto Ag-Si(p) con NA = 1017 cm-3, in condizioni di equilibrio, si riportino in un diagramma le funzioni date dalle (23), (22) e (20) e si determinino Φ i e W. 3.6. - Impieghi dei diodi Schottky. Le giunzioni rettificanti metallo-semiconduttore, comunemente chiamate diodi Schottky, trovano un impiego industriale molto vasto per alcune peculiari proprietà che le rendono in certe applicazioni superiori alle giunzioni p-n. Come si è evidenziato discutendo la caratteristica I-V delle giunzioni M-S, la corrente diretta è trasportata dagli elettroni (portatori maggioritari) che dal semiconduttore passano nel metallo. In questi diodi non vi sono quindi effetti di accumulo di portatori minoritari G. Lullo, S. Riva Sanseverino - Giunzioni metallo-semiconduttore (M-S) III . 14 iniettati in polarizzazione diretta e quindi la capacità di diffusione di questi diodi è trascurabile. Pertanto i tempi di commutazione di questi diodi sono estremamente brevi, condizionati unicamente dalla costante di tempo legata alla capacità di barriera, che può ridursi sensibilmente agendo sulla sezione della giunzione, insieme con la resistenza della zona neutra del semiconduttore. Per questa caratteristica questi diodi trovano applicazione nei circuiti integrati come interruttori veloci con tempi di commutazione di pochi picosecondi. Un secondo settore di impiego è quello dei raddrizzatori di potenza, in quanto è possibile aumentare la sezione della giunzione con il duplice vantaggio di aumentare il flusso della corrente, fornendo anche, attraverso il contatto metallico, una ottima via per lo smaltimento del calore dissipato nella giunzione. Un ulteriore vantaggio è offerto dal fatto che normalmente nei diodi Schottky al Silicio la tensione di soglia (Vγ) è di 0,4 V anzichè 0,6 V. Un terzo settore di applicazione comprende l’impiego dei diodi Schottky come condensatori non lineari, che possono produrre in campi di frequenze molto elevate (frequenze di microonde, 1 GHz come ordine di grandezza) effetti di moltiplicazione di frequenza, miscelazione e modulazione di segnali. BIBLIOGRAFIA [1] A.Y.C. YU, The metal-semiconductor contact: an old device with a new future. IEEE Spectrum, p. 83 - marzo 1970. [2] J. CARROLL, Physical Models for Semiconductor Devices. Arnold (1975). [3] R.S. MULLER, T.I. KAMINS, Device Electronics for Integrated Circuits. J. Wiley (1977).