CNR IMM - Istituto per la Microelettronica e

CENTRO DI RICERCA/UNIVERSITA’
CNR IMM - Istituto per la Microelettronica e Microsistemi
via del Fosso del Cavaliere, 100
00133 Roma - ITALIA
Tel: +39 06.4993.4533
Fax: +39 06.45488066
http://www.artov.imm.cnr.it
DATI ORGANIZZATIVI
L’ Istituto comprende 7 unità : Roma , Catania (2) ,Bologna , Agrate Brianza , Napoli, Lecce
L’ Unità di Roma conta 25 addetti stabili + dottorandi e personale in formazione
OBIETTIVI
Sviluppo di soluzioni innovative per la micro e nano elettronica, per la tecnologia sensoristica,
l’optoelettronica
e
per
la
microfluidica.
Realizzazione di dispositivi prototipo e trasferimento dei risultati tramite collaborazioni con industrie del
settore di riferimento
PRINCIPALI INDIRIZZI DI RICERCA
1
Materiali, Processi e Dispositivi per La Microelettronica ( semiconduttori e memorie)
2
Sensori e Microsistemi
3
Optoelettronica e Fotovoltaico
4
Sviluppo di Tecniche di Caratterizzazione Avanzate per l'analisi dei Materiali e di Processo
APPLICAZIONI DI RIFERIMENTO
1
AERONAUTICO
2
SPAZIALE
3
NAVALE
4
TRASPORTO SU GOMMA
5
TRASPORTO SU ROTAIA
6
DIFESA
XXX
7
SECURITY
XXXX
8
ENERGIA
XXX
9
AMBIENTE
10
BENI CULTURALI
XXX
11
SANITA’
XXX
XXX
12
PUBBLICA AMMINISTRAZIONE
13
INTRATTENIMENTO
14
AGRICOLTURA
15
TELECOMUNICAZIONI (Elettronica ,Ottica, Fotonica, Materiali )
16
AUTOMAZIONE INDUSTRIALE
16
PRODUZIONE INDUSTRIALE
17
FINANZA
18
ICT
XXXX
PRINCIPALI PROGETTI/RISULTATI DI POSSIBILE INTERESSE INDUSTRIALE
HARDWARE
SOFTWARE
HARDWARE
+
SOFTWARE

Multiphisics Modelling


Smart Systems (Integrazione di componenti e funzioni)
RFID

Micro and Nano Systems for high frequency components

Devices for Large Area Electronics , such as flat panel displays, sensors and
smart user interfaces

Magnetic Film Frequency Tunable Oscillators , F≤40 GHz

Membrane Supported Filters and Antennas TEM – modes, no substrate
contribution 30 GHz ≤ F ≤ 800 GHz

SU-8 based Micro-Systems, F≥30 GHz

Backed (Grounded) Coplanar Waveguides
COMPONENTI

Electro-Magnetic Band-Gap (EMBG) Resonators

Metacircuit Antenna

Metacircuit Directional Coupler

Sensor device based on nanosized interacting surface (nanofibrous polymers, Sinanowires) for FeNO detection in breath analysis

Sensors for volatiles and semivolatiles Compounds coming from treated soil
headspace (inorganic organic pollutants, ammonia, microorganisms, etc)

Micro Thermo gravimetry/biosensor system for insitu Space missions
SERVIZI

Transmission Line and Contacts Modelling

Optoelectronic Lab , dedicated to photonic and liquid crystal devices
characterisation

Sensor Lab

Applied Electronics Lab , focused on design and test of programmable logics and
full electronic boards

Millimetre and Microwave Design and Test Lab

Millimetre and Microwave Materials and Process Lab, Magnetic films growth and
material processing

Clean Room Microfabrication Facility:

Fotolitografia;

Attacchi fisico chimici;

Caratterizzazione morfologica (microscopia)

Caratterizzazione funzionale: di tipo elettrico.
COMPETENZE/TECNOLOGIE

Bulk and surface micromachining techniques

Design and realization of innovative components

Technology for liquid crystals photonics

Metamaterials for High-Frequency Electronics

MEMS and nano-technology ( CNT and nano-wires)

Nanomaterials and technologies for the production of sensitive "bioinspired" both polymeric and
metal-oxide nanofibres

Design and fabrication of transducers based on single and multi-channel microbalances

Micro and polycrystalline silicon TFT ( thin film transistors) technologies for circuit applications,
including the development of specific circuit configurations for smart user interface, RFID and sensor
applications

Low temperature processes to fabricate devices on polymeric substrates for flexible display and
electronic applications

Competenze sulle Facilities delle Clean Room
BREVETTI
I costi di protezione delle tecnologie sono incompatibili con la gestione economica. Per tale ragione, in
linea di massima CNR-IMM non produce più di un brevetto l’anno. Non specificati
ATTIVITA' DI ESPLORAZIONE E/O SVILUPPO NON CONCLUSE O NON APPLICATE
In sospeso un progetto su Sorgenti a microonde a bande accordabili in frequenza con la capacità di
avere tuning della frequenza di lancio.
DISPONIBILITA' AD ESTENDERE LA RICERCA A CAMPI AFFINI
CNR – IMM intende sfruttare la propria competenza in RF specializzandola su scala molto più piccola
(micrometrica e nanometrica) per realizzare microwave imaging.
Sta per partire un progetto con contrattoUE in ambito FP7, in cui il background culturale delle alte
frequenze è necessario e fa da “cappello”, ma lo sviluppo della strumentazione dell ’Imaging è una cosa
completamente nuova. Si tratta di un’implementazione di strumentazione in parte esistente che è di
proprietà dell’Agilent, pensata per fare dell’imaging lanciando un segnale in alta frequenza e lavorando in
riflessione. Il CNR-IMM ha in programma di arrivare a un prototipo composto da un box interfacciabile con
un dispositivo di rete, che sia in grado di analizzare almeno microstrutture e che possa essere scalato
sulle nano. Si è prossimi ad un prototipo per misurare parametri di trasmissione su di un dispositivo.
EVENTUALI ESPERIENZE PREGRESSE NELL’ ESPLORAZIONE DI CAMPI AFFINI
Sviluppo di componenti e sistemi a base di metamateriali. CNR – IMM ha usato tecnologie esistenti
con concetti innovativi per sviluppare funzioni innovative (i.e.. sviluppo di una linea di trasmissione
esistente con dei concetti che permettono di potenziare delle caratteristiche che prima non aveva, del tipo:
larghezza di banda e miniaturizzazione.)
IDEE GIA' ESISTENTI SULLE QUALI ESPLORARE CAMPI DI RICERCA AFFINI
Non risposto
COMPETENZE SCIENTIFICHE E TECNOLOGICHE CHE IL CENTRO DI RICERCA RITIENE POSSANO
ESSERE MESSE A DISPOSIZIONE DEI MERCATI "ALTRI"
Le competenze che CNR – IMM può mettere a disposizione sono sicuramente quelle relative alle
tecnologie dei microsistemi, a tutto ciò che si può “impacchettare”( SMART systems, bassa ed alta
frequenza) e alla sensoristica. C’ è interesse su materiali e dispositivi di ogni tipo basati sulle tecnologie di
microsistemi. Infatti, con la stessa configurazione si possono ottenere delle applicazioni diverse cambiando
la tipologia di sensori.
Un mercato “altro” potrebbe essere quello dei Beni Culturali.
COMPETENZE SCIENTIFICHE E TECNOLOGICHE CHE IL CENTRO DI RICERCA RITIENE POSSANO
ESSERE MESSE A DISPOSIZIONE DEI SOCI LC
Tutte le tecnologie a film sottile, tutto ciò che si deve svolgere in clean room e tutto ciò che è legato alla
prototipazione di microsistemi.
CLIENTI
Vedi Partners
PARTNERS
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Selex Galileo;
Selex Elsag;
Elettronica S.p.A.
Università di Perugia;
Università di Monaco.
Fondazione Bruno Kessler - Trento
European Space Agency – Technology Centre (ESA-ESTEC), Noordwijk, The Netherlands
THALES ALENIA SPACE Italy (TAS-I), Roma and L’Aquila
THALES ALENIA SPACE France (TAS-F), Toulouse, France
Italian National Agency for New Technologies, Energy and the Environment (ENEA), Frascati
Research Centre
Elettronica
Finmeccanica, mainly through SELEX-SI, Roma
ST Microelectronics, Agrate Brianza
Fondazione Bruno Kessler (ex-ITC)-irst, Trento
University of Roma 2 “Tor Vergata”, Electronics Engineering and Physics Department
Nat. Institute for Research and Development in Microtechnologies (IMT), Bucharest, Romania
EU Network of Excellence AMICOM (FP7 follow-up)
The George Washington University, Washington, DC, USA
Institute of Radio-Engineering and Electronics, Moscow, Russia
University of Perugia, Electronics Engineering Department
Technische Universität München, Germany
Technical Research Centre of Finland (VTT), Helsinki and Oulu, Finland
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Southwest Institute of Applied Magnetics, P.R. China
University of Roma 1, "La Sapienza“
University of Roma Tre, Engineering Department
Università della Calabria
Ministero degli Affari Esteri (Foreign Ministery)
Aristotle University of Thessaloniki (Greece)
University of Padova, Electronics Engineering Department
University of Athens, Greece
Comicion Nacional de Energia Atomica (CONEA), Buenos Aires, Argentina