Le righe Renishaw semplificano la ricerca nel campo delle
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Le righe Renishaw semplificano la ricerca nel campo delle
Esempio di applicazione – encoder lineari Le righe Renishaw semplificano la ricerca nel campo delle microlavorazioni Recentemente, Ionoptika Ltd. ha installato presso la University of Southampton un attrezzatura speciale destinata alla ricerca in uno tra settori più impegnativi: la microlavorazione. Renishaw è uno dei fornitori altamente specializzati e contribuisce al progetto con le righe RG2 e i lettori RGH25 UHV, il sistema chiave per il posizionamento di precisione, indispensabile per gli spostamenti nanometrici. I non addetti ai lavori hanno spesso difficoltà a percepire la finezza di queste lavorazioni. Basti pensare che l'intero logo della Ionoptika può essere inciso su una mascherina metallica con dimensioni non superiori a 20 μm. Ionoptika ha progettato e costruito questo sistema strumentale incorporando un manipolatore di campioni Nanomotion, fornito da Heason Technologies di Chichester. L'intero gruppo integrato per microlavorazioni è racchiuso in un contenitore a vuoto e installato su una piattaforma ad alta stabilità che lo isola dalle vibrazioni esterne Ingrandimento del logo Ionoptika con una larghezza totale di 20 µm. La prima ‘i’ è larga solo 70 nm Andy Barber, responsabile tecnico di Ionoptika, ci spiega: “le righe e i lettori Renishaw risultano ideali per applicazioni critiche di misura e posizionamento, in quanto garantiscono l'accuratezza necessaria. Inoltre, sono in grado di sopportare condizioni operative estreme. Questo è un fattore rilevante, dato che per evitare contaminazione gassosa in condizioni di ultra-alto-vuoto (UHV) l'intero dispositivo deve essere regolarmente sottoposto a ‘bake-out’ a temperature o superiori a 120 C." Perfetto per motori piezoceramici Un elemento interessante del manipolatore di campioni con accuratezza submicron è l'utilizzo di motori piezoceramici "standing motion". “La combinazione degli encoder a tali motori si è dimostrata una scelta vincente” afferma Barber. Il risultato è un movimento continuo e fluido, con elevate risoluzioni, nessun gioco e l'altissima accuratezza nel posizionamento fine che è la caratteristica dei dispositivi piezoelettrici. Flessibilità e facilità di integrazione Andy Barber è convinto che il sistema di encoder lineare RG2 con risoluzione da 50 nm rappresenti il sistema di posizionamento ideale per questa applicazione. "La flessibilità della riga è stata ampiamente dimostrata dal suo utilizzo sull'asse ad arco parziale. Il lettore RGH25 è compatto, robusto e garantisce la compatibilità con gli ambienti UHV e tali caratteristiche lo rendono perfetto per i nostri scopi," ha affermato. Manipolatore di campioni dotato di motori piezoceramici e di riga e lettore Renishaw. Elevata ripetibilità I movimenti lineari sul pezzo di lavoro possono arrivare a 50 mm con la necessità di riposizionarsi su elementi già lavorati. Per tali ragioni il sistema deve fornire elevate risoluzioni e un alto grado di ripetibilità e questi sono esattamente i vantaggi offerti dagli encoder. Per ottenere una precisione submicron, gli ingegneri di Ionoptika hanno scritto programmi personalizzati appositi per il manipolatore di campioni a 4 assi controllato dal computer, incluso un software integrato per microlavorazioni. Lettore RGH25 UHV e riga RGS20-S Per dimostrare le potenzialità di microlavorazione della macchina, un programma incide il logo della Ionoptika su una mascherina metallica. L'intero nome della società viene riprodotto Storia dell'azienda perfettamente all'interno dello spazio occupato da un singolo foro Ionoptika è stata creata con la cooperazione della Southampton di 20 μm, un sistema di assoluta precisione che adotta righe e University e ha sede presso il Chilworth Science Park lettori Renishaw come elemento chiave. (Southampton), con impianti e stabilimenti adatti a soddisfare le esigenze della scienza moderna. È dotata di impianti per Sviluppi futuri l'assemblaggio e la verifica di emettitori di ioni, sorgenti e altri Secondo Chris Finlayson della Southampton University il nuovo strumenti per il vuoto. Per questa particolare applicazione è stata macchinario verrà utilizzato dal dipartimento di fisica per compiere utilizzata un emettitore ionico da 25 kV a gallio liquido con una studi nei seguenti campi: 1) Creazione di schemi di strutture risoluzione spaziale migliore di 30 nm. fotoniche cristalline bidimensionali in guide d’onda dielettriche di vario genere. 2) Incisione di fori con dimensioni submicron in film Gli scienziati che lavorano alla Ionoptika sono esperti in sistemi a sottili di metallo inerte per esaminare le interazioni luce/plasmone. fasci di ioni per applicazioni di imaging altamente specializzate sia 3) Creazione degli schemi laterali di guide d’onda e circuiti ottici a livello elementale che molecolare, fra cui sistemi monocellulari. integrati. Data la necessità di controllare più volte una cellula, l'accuratezza del posizionamento rappresenta un fattore chiave per l'intero sistema.